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Entwicklung und Charakterisierung von siliziumbasierten mikrosystemtechnischen Komponenten für ein miniaturisiertes Gasanalysesystem

Jörg Stürmann

ISBN 978-3-8325-1611-6
300 Seiten, Erscheinungsjahr: 2007
Preis: 40.50 €

Keywords:
  • Mikrosystemtechnik
  • Siliziumtechnologie
  • Gasanalyse
  • Chromatographie
  • Mikroreaktor

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