MENÜ MENÜ  

cover

Analyse und Optimierung der Multipolresonanzsonde als industrietaugliches Plasmadiagnostiksystem

Martin Lapke

ISBN 978-3-8325-2915-4
127 pages, year of publication: 2011
price: 34.00 €
Analyse und Optimierung der Multipolresonanzsonde als industrietaugliches Plasmadiagnostiksystem
Die Überwachung und zielgerichtete Beeinflussung technischer Plasmen erfordert die messtechnische Bestimmung ihrer inneren Zustandsgrößen, vor allem der Elektronendichte und der mittleren Elektronenenergie. Der Begriff Plasmadiagnostik umfasst alle Einrichtungen und Verfahren, die für eine solche Messung der Zustandsgrößen eines Plasmas herangezogen werden können. Von den bekannten Methoden sind jedoch nur wenige für den Einsatz in einem industriellen Umfeld geeignet.

In dieser Arbeit wurde ein spezielles Konzept untersucht, das auf der universalen Eigenschaft aller Niederdruckplasmen beruht, bei Anregung mit einem Hochfrequenzsignal in der Nähe der Elektronenplasmafrequenz in Resonanz zu geraten. Eine abstrakte Analyse dieser sogenannten plasmaresonanzspektroskopischen Diagnostikmethoden zeigt, dass ein höchstmögliches Maß an Symmetrie zum einen ein lokales Messen ermöglicht und zum anderen eine analytische Beschreibung des Resonanzspektrums erlaubt. Die Multipol Resonanz Sonde (MRP) wird als innovative, optimale Realisierung des skizzierten Grundkonzeptes der aktiven Plasmaresonanzspektroskopie beschrieben und detailiiert untersucht.

cover cover cover cover cover cover cover cover cover
Keywords:
  • Plasmadiagnostik
  • Resonanz
  • Elektronendichte
  • Elektronentemperatur
  • Resonanzspektroskopie

BUYING OPTIONS

34.00 €
in stock

33.00 €
44.00 €
48.00 €

(D) = Within Germany
(W) = Abroad

*You can purchase the eBook (PDF) alone or combined with the printed book (eBundle). In both cases we use the payment service of PayPal for charging you - nevertheless it is not necessary to have a PayPal-account. With purchasing the eBook or eBundle you accept our licence for eBooks.

For multi-user or campus licences (MyLibrary) please fill in the form or write an email to order@logos-verlag.de